Il profilatore ottico tridimensionale fornisce misure superficiali senza contatto ad alte prestazioni per la ricerca di laboratorio e il controllo dei processi di produzione. In combinazione con l'interferometria a luce bianca di decima generazione (WLI) e il suo design, questo sistema metrologico fornisce un'alta risoluzione verticale che supera il più grande campo visivo del settore. Le funzioni principali includono l'automazione completa e l'interfaccia di produzione, il grande livello elettrico XYZ, l'inclinazione/inclinazione della testa e una piattaforma completa di isolamento dell'aria. Per soddisfare le rigorose esigenze di ricerca e sviluppo, garanzia della qualità e controllo della qualità dei processi dal terreno, CONTEBGT-X offre la massima capacità degli strumenti di misura con precisione ottica tridimensionale e robustezza.
Progettazione e affidabilità della preparazione della produzione
Il CONTEBGT-X combina la testa Bricklay * */tilt di Bruker, il riferimento laser autocalibrante di Bricklay, il riconoscimento integrato del pattern e molte altre tecniche di misura interferometriche proprietarie per fornire metrologia superficiale * * e elevata produttività. La configurazione automatizzata di questo sistema può ottimizzare rapidamente quasi qualsiasi ambiente di produzione, e le sue caratteristiche includono un kit stabilizzatore dello stadio dell'aria per migliorare la precisione del posizionamento dei wafer X, Y e Z, nonché un vassoio per schede sottovuoto per integrare PDU, EMO e sistemi di vuoto, e modificato per il caricamento automatico della compatibilità con gli effetti finali.
Imaging ad alta precisione e ad alta risoluzione
Il CONTEBGT-X Mobile XY Stage offre un movimento codificato da 12 pollici in entrambe le direzioni X e Y Questa piattaforma supporta routine automatizzate, come la raccolta dati multi-punto e la funzionalità di cucitura per analisi su larga scala. L'encoder da 0,5 micron fornisce automazione affidabile e ripetibile e posizionamento del campione. L'esempio di posizionamento fornisce comodità agli operatori attraverso joystick intuitivi e controlli dell'interfaccia software.
Software intuitivo di misurazione e analisi delle superfici
Il software operativo e di analisi Vision64 di Bruker fornisce l'interfaccia utente grafica più pratica e semplificata del settore, combinando architettura intelligente con flussi di lavoro visivi intuitivi e ampie funzionalità di automazione definite dall'utente per la raccolta e l'analisi dei dati veloci ed efficienti. Un'interfaccia produttiva avanzata che permette al CONTEBGT-X di adattarsi a quasi tutti gli ambienti produttivi e processi di automazione. Questa interfaccia fornisce strumenti per personalizzare i flussi di lavoro di processo, la mappatura automatica e le formule di misurazione del carico.